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沃格股份申请晶圆自动贴膜机及贴膜工艺专利大大提高了生产效率降低了晶圆后的损坏率
作者:小编 点击: 发布时间:2024-02-13 08:23:38
NG体育沃格股份申请晶圆自动贴膜机及贴膜工艺专利,大大提高了生产效率,降低了晶圆贴膜后的损坏率
金融界2024年2月8日消息,据国家知识产权局公告,无锡沃格自动化科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆自动贴膜机及贴膜工艺“,公开号CN117524943A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明公开一种晶圆自动贴膜机,其包括搬运机构、上料料仓、供料机构、相机定位组件、暂存机构、贴膜平台、贴膜机构和裁切机构,暂存机构包括暂存平台,暂存平台用于承载晶圆,相机定位组件被配置为获取晶圆的位置信息,贴膜机构被配置为贴膜料,上述晶圆自动贴膜机采用相机定位组件取代传统的晶圆寻边器,贴膜平台集多功能于一体,能一次性将产品贴膜完成,无需分多次在不同设备上贴膜,大大提高了生产效率,降低了晶圆贴膜后的损坏率,同时减低了生产成本,不仅结构简单、设计巧妙,而且一次性可以对晶圆贴两层甚至更多层膜,同时也可以调整贴膜角度,无需分多次贴膜,另外一定尺寸范围内的晶圆都可以在同一平台上贴膜,显著提高了兼容性。
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