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华海清科获得发明专利授权:“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”
NG体育证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”,专利申请号为CN8.8,授权日为2024年2月9日。
专利摘要:本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备,包括主体部及保持环,所述主体部的底部配置有基座,所述保持环通过连接结构固定于所述基座;所述连接结构包括固定螺钉、限位环和连接螺钉;保持环设置于承载头的基座的底部,其通过固定螺钉连接于基座;所述限位环为环状结构,其通过连接螺钉固定于所述基座的顶部;所述限位环罩设于所述基座的上侧,其底面抵压于所述保持环的顶面;所述限位环对保持环的抵压力产生相对于所述连接螺钉的偏转力矩,使得保持环的底面形成沿径向的高度差。
今年以来华海清科新获得专利授权9个,与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元,同比增63.98%。
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